文献

J-GLOBAL ID：200902173783132625   整理番号：01A0271154

固体OMVPEソースのためのシリンダ設計の研究

A study of cylinder design for solid OMVPE sources.

著者 (3件)： TIMMONS M (Rohm and Haas Co., MA, USA) ,  RANGARAJAN P (Rohm and Haas Co., MA, USA) ,  STENNICK R (Rohm and Haas Co., MA, USA)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 221  ページ： 635-639  発行年： 2000年12月 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： くぼみチューブがなく,焼結されたステンレススチールフリットを...

シソーラス用語： *MOCVD ,...
準シソーラス用語： OMVPE

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

物質索引 (3件)： 四臭化炭素 ,  トリメチルインジウム ,  1,3-シクロペンタジエン

タイトルに関連する用語 (6件)： 固体 ,  OMVPE ,  ソース ,  シリンダ ,  設計 ,  研究