Deposition of conductive and nonconductive hard coatings on metallic and ceramic materials by RF-PA-CVD.

文献

J-GLOBAL ID：200902173820637589 整理番号：94A0053923

Abscheidung leitender und nichtleitender Hartstoffschichten auf metallischen und keramischen Werkstoffen mittels Hochfrequenz-Plasma-CVD.

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巻： 24 号： 11 ページ： 392-396 発行年： 1993年11月
JST資料番号： C0781A ISSN： 0933-5137 CODEN： MATWER 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：ドイツ (DEU) 言語：ドイツ語 (DE)

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