0.25μm CMOS論理埋め込みFeRAMのためのCMVP(Capacitor-on-Metal/Via-stacked-Plug)メモリセル

AMANUMA K; TATSUMI T; MAEJIMA Y; TAKAHASHI S; HADA H; OKIZAKI H; KUNIO T

文献

J-GLOBAL ID：200902174902677216 整理番号：99A0419989

0.25μm CMOS論理埋め込みFeRAMのためのCMVP(Capacitor-on-Metal/Via-stacked-Plug)メモリセル

Capacitor-on Metal/Via-stacked-Plug(CMVP) Memory Cell for 0.25μm CMOS Embedded FeRAM.

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Technical Digest. International Electron Devices Meeting (Technical Digest. International Electron Devices Meeting)

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巻： 1998 ページ： 363-366 発行年： 1998年
JST資料番号： C0829B ISSN： 0163-1918 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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