文献
J-GLOBAL ID：200902175323482833   整理番号：94A0139450

Novel on-axis interferometric alignment method with sub-10nm precision.

著者 (4件)：
MOEL A

MOEL A について

(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)

Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts について

, 
MOON E E

MOON E E について

(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)

Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts について

, 
FRANKEL R D

FRANKEL R D について

(Rochester Group, New York)

Rochester Group, New York について

, 
SMITH H I

SMITH H I について

(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)

Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 11  号： 6  ページ： 2191-2194  発行年： 1993年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM