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J-GLOBAL ID：200902175531377415   整理番号：96A1019041

原子間力顕微鏡を用いた熱的書込みと圧抵抗リードバックのための低剛性けい素カンチレバー

Low-stiffness silicon cantilevers for thermal writing and piezoresistive readback with the atomic force microscope.

著者 (6件)： CHUI B W (Stanford Univ., California) ,  STOWE T D (Stanford Univ., California) ,  KENNY T W (Stanford Univ., California) ,  MAMIN H J (IBM Res. Div., California) ,  TERRIS B D (IBM Res. Div., California) ,  RUGAR D (IBM Res. Div., California)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 69  号： 18  ページ： 2767-2769  発行年： 1996年10月28日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： データ蓄積デバイスのための低剛性けい素カンチレバーを開発し,...

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： カンチレバー

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分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (8件)： 原子間力顕微鏡 ,  書込み ,  圧 ,  リード ,  バック ,  剛性 ,  けい素 ,  カンチレバー