化学蒸着プロセスによるダイヤモンド蒸着  バイアス増強核形成ステップ

BARRAT S; SAADA S; DIEGUEZ I; BAUER-GROSSE E

文献

J-GLOBAL ID：200902175709986593 整理番号：98A0810713

化学蒸着プロセスによるダイヤモンド蒸着バイアス増強核形成ステップ

Diamond deposition by chemical vapor deposition process: Study of the bias enhanced nucleation step.

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資料名：
巻： 84 号： 4 ページ： 1870-1880 発行年： 1998年08月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド膜作製において,...

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その他の無機化合物の薄膜

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