屈折率および膜厚の同時計測のための低コヒーレンス干渉計システム

MARUYAMA H; INOUE S; MITSUYAMA T; OHMI M; HARUNA M

文献

J-GLOBAL ID：200902175847297812 整理番号：02A0261668

屈折率および膜厚の同時計測のための低コヒーレンス干渉計システム

Low-coherence interferometer system for the simultaneous measurement of refractive index and thickness.

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資料名：
巻： 41 号： 7 ページ： 1315-1322 発行年： 2002年03月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

透明プレートの屈折率nおよび膜厚tの同時測定に用いる標記の干...

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干渉測定と干渉計 , 光物性一般

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