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J-GLOBAL ID：200902175989310166   整理番号：93A0897928

The fastest real time spectroscopic ellipsometry: applications and limitations for in situ and quality control.

著者 (3件)： PIEL J-P (SOPRA S.A., Bois-colombes, FRA) ,  STEHLE J-L (SOPRA S.A., Bois-colombes, FRA) ,  THOMAS O (SOPRA S.A., Bois-colombes, FRA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 233  号： 1/2  ページ： 301-306  発行年： 1993年10月12日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)