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J-GLOBAL ID：200902175996022818   整理番号：95A0945425

Ti(Y)N被覆層の調製とその特性

Preparation and properties of Ti(Y)N coatings.
著者 (5件)：
YU Z

YU Z について

(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)

Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN について

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JIN Z

JIN Z について

(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)

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LIU C

LIU C について

(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)

Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN について

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YU L

YU L について

(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)

Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN について

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DAI S

DAI S について

(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)

Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について


巻： 13  号： 5  ページ： 2303-2309  発行年： 1995年09月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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Ti(Y)NとTiNの被覆層を反応性イオンめっき法により調製...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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チタン化合物

チタン化合物 について

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分類 (1件)：
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気相めっき 
(WC08022K)

気相めっき について

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Ti

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被覆層

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調製

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