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J-GLOBAL ID：200902176427397273   整理番号：94A0152398

Ti陰極N2導入真空アーク蒸着装置におけるアーク点弧後の圧力の経時変化

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著者 (3件)：
井上友喜

井上友喜 について

(豊橋技科大)

豊橋技科大 について

, 
滝川浩史

滝川浩史 について

(豊橋技科大)

豊橋技科大 について

, 
榊原建樹

榊原建樹 について

(豊橋技科大)

豊橋技科大 について


資料名：
電気関係学会東海支部連合大会講演論文集  (Record of Tokai-Section Joint Conference of the Six Institute of Electrical and Related Engineers)

電気関係学会東海支部連合大会講演論文集 について


巻： 1993  ページ： 8  発行年： 1993年10月 
JST資料番号： L1634A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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Ti

Ti について

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陰極

陰極 について

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N2

N2 について

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真空アーク蒸着

真空アーク蒸着 について

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アーク

アーク について

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弧

弧 について

, 
経時変化

経時変化 について


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