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J-GLOBAL ID:200902176922470750   整理番号:01A0546816

Coベースの長手薄膜媒体の粒子サイズとその分布を減少させる新しいスパッタリング過程 新しいシード層と高KuGrain材料

Novel Sputtering Process to Reduce the Grain Size and Its Distribution in Co-Based Longitudinal Thin Film Media. New Seedlayer and High KuGrain Material.
著者 (4件):
資料名:
巻: 36  号: 5,Pt.1  ページ: 2315-2320  発行年: 2000年09月 
JST資料番号: A0339B  ISSN: 0018-9464  CODEN: IEMGAQ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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粒子サイズとその分布を減少させる二つの技術を導入した。第一は...
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分類 (1件):
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電子・磁気・光学記録 

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