触媒化学気相成長システムにより分解した活性アンモニアガス中でのPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>強誘電体キャパシタのアニーリング効果

文献

J-GLOBAL ID：200902177364154169 整理番号：99A0999506

触媒化学気相成長システムにより分解した活性アンモニアガス中でのPb(Zr,Ti)O₃強誘電体キャパシタのアニーリング効果

Annealing Effect of Pb(Zr, Ti)O₃ Ferroelectric Capacitor in Active Ammonia Gas Cracked by Catalytic Chemical Vapor Deposition System.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=99A0999506&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0999506&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

著者 (6件)： , , , , ,
資料名：
巻： 38 号： 9B ページ： 5358-5360 発行年： 1999年09月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

ゾル-ゲル法により標記の成膜を行い,活性アンモニアガス中での...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0999506&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

強誘電体,反強誘電体,強弾性 , 酸化物薄膜

引用文献 (11件)：

1) S. Onishi, K. Hamada, K. Ishikawa, Y. Ito, S. Yokoyama, J. Kudo and K. Sakiyama: Tech. Dig. 1994 Int. Electron Devices Meeting, San Francisco (1994) p. 843.
2) N. Tanabe, T. Matsuki, S. Saitoh, T. Takeuchi, S. Kobayashi, T. Nakajima, Y. Maejima, Y. Hayashi, K. Amanuma, T. Hase, Y. Miyasaka and T. Kunio: Dig. Tech. Pap. 1995 Symp. VLSI Technology; Kyoto (1995) p. 123.
3) Y. Fujisaki, K. Kushida-Abdelghafar, Y. Shimamoto and H. Miki: J. Appl. Phys. 82 (1997) 341.
4) P. Boher, M. Renaud, L. Ijzendoorn and Y. Hily: Appl. Phys. Lett. 54 (1989) 511.
5) H. Matsumura and H. Tachibana: Appl. Phys. Lett. 47 (1985) 833.

, , , , , , , , ,

前のページに戻る