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J-GLOBAL ID：200902177433896717   整理番号：01A0547179

マイクロスリットと表面平滑化技術により改良された高周波集積磁性薄膜インダクタ

Improved RF Integrated Magnetic Thin-Film Inductors by Means of Micro Slits and Surface Planarization Techniques.

著者 (9件)： YAMAGUCHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  BABA M (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SUEZAWA K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MOIZUMI T (Tohoku Gakuin Univ., Tagajo, JPN) ,  ARAI K I (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HAGA A (Tohoku Gakuin Univ., Tagajo, JPN) ,  SHIMADA Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TANABE S (Mitsubishi Electric Corp., Amagasaki, JPN) ,  ITOH K (Mitsubishi Electric Corp., Amagasaki, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 36  号： 5,Pt.1  ページ： 3495-3498  発行年： 2000年09月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波MMICに用いられる,標記インダクタについて述べた。表...

シソーラス用語： *薄膜インダクタ ,...

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分類 (2件)： LCR部品  (NA05030D) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (6件)： スリット ,  平滑化 ,  高周波 ,  集積 ,  磁性薄膜 ,  インダクタ