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J-GLOBAL ID：200902177519479531   整理番号：00A0349618

Formation and Detection of Sub-Pellicle Defects by Exposure to DUV System Illumination.

著者 (4件)： GRENON B J (Grenon Consulting, Inc., VT) ,  PETERS C R (Dominion Semiconductor, VA) ,  BHATTACHARYYA K (KLA-Tencor Corp., CA) ,  VOLK W (KLA-Tencor Corp., CA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3873  号： Pt.1  ページ： 162-176  発行年： 1999年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)