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J-GLOBAL ID：200902177569087227   整理番号：93A0648877

ダイナミックミキシング法による薄膜作製装置の開発

The development of apparatus for Dynamic Mixing experiment.

著者 (6件)： 木村吉秀 (大阪大 工) ,  志水隆一 (大阪大 工) ,  山内秀彦 (エイコー・エンジニアリング) ,  高橋弘 (エイコー・エンジニアリング) ,  MIN K Y (大阪大 工) ,  BEAG Y W (大阪大 工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 2  ページ： 549  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (2件)： 薄膜作製装置 ,  開発