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J-GLOBAL ID：200902177823194489   整理番号：93A0781536

Ab Initio Computation of Thermochemistry and Kinetics in the Oxidation of Gas Phase Silicon Species.

著者 (2件)： ZACHARIAH M R (National Inst. Standards and Technology, Md) ,  TSANG W (National Inst. Standards and Technology, Md)
資料名： Chemical Perspectives of Microelectronic Materials 3  (Chemical Perspectives of Microelectronic Materials 3)
ページ： 493-498  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19930443  ISBN： 1-55899-177-8  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)