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J-GLOBAL ID：200902178155796133   整理番号：00A0000625

新しい真空紫外顕微鏡

A New Deep-UV Microscope.

著者 (5件)： EGUCHI N (Sony Corp., Tokyo, JPN) ,  OKA M (Sony Corp., Tokyo, JPN) ,  IMAI Y (Sony Corp., Tokyo, JPN) ,  SAITO M (Sony Precision Technol. Inc., Kanagawa-ken, JPN) ,  KUBOTA S (Sony Corp., Tokyo, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3740  ページ： 394-397  発行年： 1999年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： 顕微鏡