軟X線投影ソリグラフィーのためのレーザ駆動装置

HACKEL L A; BEACH R J; DANE C B; ZAPATA L E

文献

J-GLOBAL ID：200902178223141000 整理番号：94A0142651

軟X線投影ソリグラフィーのためのレーザ駆動装置

Laser driver for soft-x-ray projection lithography.

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巻： 32 号： 34 ページ： 6914-6919 発行年： 1993年12月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

2から5nsのパルス持続時間と400Hzのパルス繰り返し速度...

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固体レーザ , X線技術

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