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J-GLOBAL ID：200902178660262321   整理番号：00A0304860

パターン投影方式小径穴測定装置の性能向上 1 平行平板試料の場合の理論解析

Improvement of Measuring Equipment Using Pattern Projection Method for Small Hole Diameter. 1st Report. Theoretical Analysis for Parallel Plate Specimen.

著者 (7件)： 秋山伸幸 (長岡技科大) ,  吉田昌弘 (長岡技科大) ,  LIANGPANICH E (長岡技科大 大学院) ,  石田秀吾 (長岡技科大 大学院) ,  桑原和寿 (第一測範製作所) ,  竹石哲也 (第一測範製作所) ,  藤本頴助 (第一測範製作所)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 3  ページ： 463-467  発行年： 2000年03月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記装置による内径測定法を理論的に解析し,対物レンズの開口数...

シソーラス用語： *内径 ,...
準シソーラス用語： 小径穴

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  その他の光学的測定法とその装置  (BD07080R)

引用文献 (5件)：

• 1) (株)第一測範カタログ:小径内径測定器(光学式)IDM.
• 2) ライツ社カタログ:万能コンパレータ200.
• 3) 丸山六男,尾板一,小野道彦,賀勢晋司:光学的方法による小穴内径測定装置の開発,精密工学会誌,62,1(1996)145.
• 4) 秋山伸幸,北野哲彦,吉田昌弘,藤本頴助,幸平博喜,福島忠男:微小径深穴用光学式内径測定装置の開発,精密工学会誌,62,4(1996)584.
• 5)例えば村田和美:光学,サイエンス社,(1993)85.

タイトルに関連する用語 (7件)： 投影 ,  小径 ,  測定装置 ,  性能向上 ,  平行平板 ,  試料 ,  理論解析