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J-GLOBAL ID：200902178751448029   整理番号：99A0141733

非晶質窒化炭素膜の構造解析のための弾性反跳検出分析(ERDA),電子エネルギー損失分光法(EELS)およびX線光電子分光法(XPS)の比較研究

A comparative study of elastic recoil detection analysis(ERDA), electron energy loss spectroscopy(EELS) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) for structural analysis of amorphous carbon nitride films.

著者 (7件)： SPAETH C (Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU) ,  KUEHN M (Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU) ,  RICHTER F (Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU) ,  FALKE U (Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU) ,  HIETSCHOLD M (Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU) ,  KILPER R (Univ. Basel, Basel, CHE) ,  KREISSIG U (Forschungszentrum Rossendorf, Dresden, DEU)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 7  号： 11/12  ページ： 1727-1733  発行年： 1998年12月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオンビーム支援ろ過陰極真空アーク蒸着法により一連の炭素およ...

シソーラス用語： *窒化物 ,...
準シソーラス用語： 弾性反跳検出分析

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分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (10件)： 非晶質 ,  窒化 ,  炭素膜 ,  構造解析 ,  弾性反跳検出分析 ,  電子エネルギー損失分光法 ,  EELS ,  X線光電子分光法 ,  XPS ,  研究