シリコン基板上のジルコニウム酸チタン酸鉛の誘電性,強誘電性および圧電性

CHEN H D; UDAYAKUMAR K R; CROSS L E; BERNSTEIN J J; NILES L C

文献

J-GLOBAL ID：200902179191176369 整理番号：95A0437174

シリコン基板上のジルコニウム酸チタン酸鉛の誘電性,強誘電性および圧電性

Dielectric, ferroelectric, and piezoelectric properties of lead zirconate titanate thick films on silicon substrates.

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巻： 77 号： 7 ページ： 3349-3353 発行年： 1995年04月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

スクリーン印刷によって製作した標記PZT厚膜の諸特性を測定し...

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圧電気,焦電気,エレクトレット , 酸化物薄膜

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