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J-GLOBAL ID：200902179384532294   整理番号：01A0178080

イオンビームスパッタ蒸着により作製した光共振器内のSiドープSiO₂ガラス発光体

Si doped SiO₂ glass light emitter within an optical cavity fabricated by ion beam sputter-deposition.

著者 (5件)： ICHINOHE T (Tokyo National Coll. Technol., Tokyo, JPN) ,  KENMOCHI D (HOYA Co. Ltd., Tokyo, JPN) ,  MORISAKI H (Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN) ,  MASAKI S (Tokyo National Coll. Technol., Tokyo, JPN) ,  KAWASAKI K (TDY Co. Ltd., Kanagawa, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 377/378  ページ： 87-91  発行年： 2000年12月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiドープSiO₂ガラス(Si-DG)...

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,...

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分類 (2件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (9件)： イオンビーム ,  スパッタ蒸着 ,  作製 ,  光共振器 ,  Si ,  ドープ ,  SiO2 ,  ガラス ,  発光体