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J-GLOBAL ID：200902179827902464   整理番号：96A0915206

表面分析の現状と将来展望 TOF-SIMSの現状と将来展望 化学分野におけるTOF-SIMSの応用から

Current Technical Status of Surface Analysis. Present Status and Outlook of TOF-SIMS. Its Application in Chemical Fields.

著者 (1件)： やな嶋裕之 (住友化学工業 筑波研)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 17  号： 10  ページ： 574-582  発行年： 1996年10月 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： TOF-SIMSは固体極表面の微小な領域について,高感度に化...

シソーラス用語： 二次イオン質量分析 ,...
準シソーラス用語： LB膜

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分類 (2件)： 質量分析  (CC03013N) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

引用文献 (43件)：

• 1) D. Briggs and M. P. Seah: “Practical Surface Analysis, vol 2, Ion and Neutral Spectroscopy” (John Wiley & Sons, Chichester, 1992).
• 2) A. Benninghoven, F. G. Rudenauer and H. W. Werner: “Secondary Ion Mass Spectrometry” (John Wiley & Sons, Chichester, 1987).
• 3) D. Briggs, A. Brown and J. C. Vickerman: “Handbook of Static Secondary Ion Mass Spectrometry” (John Wiley & Sons, Chichester, 1989).
• 4) A. Benninghoven: Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 33,1023 (1994).
• 5) D. Briggs: Surf. Int. Anal. 9, 391 (1986).

タイトルに関連する用語 (6件)： 表面分析 ,  現状 ,  将来展望 ,  TOF-SIMS ,  化学分野 ,  応用