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J-GLOBAL ID：200902179873956188   整理番号：01A0426360

SAMsとMEMS 光塑性MEMS/NEMSの乾式脱型のための自己集合単層による表面改質

“SAMs meet MEMS”: surface modification with self-assembled monolayers for the dry-demolding of photoplastic MEMS/MEMS.

著者 (6件)： KIM B J (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  KIM G M (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  LIEBAU M (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  HUSKENS J (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  REINHOUDT D N (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  BRUGGER J (Univ. Twente, Enschede, NLD)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 14th  ページ： 106-109  発行年： 2001年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 複製と脱型工程に先立って,湿潤化学的犠牲層無しで表面から光塑...

シソーラス用語： *ナノ構造 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： MEMS ,  光塑性 ,  NEMS ,  脱型 ,  自己集合 ,  単層 ,  表面改質