微小機械共振器の熱安定性の向上のための幾何学的形状応力補償

文献

J-GLOBAL ID：200902180181734035 整理番号：99A0655590

Geometric Stress Compensation for Enhanced Thermal Stability in Micromechanical Resonators.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=99A0655590&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0655590&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=A0437C") }}

著者 (2件)： ,
資料名：
巻： 1998 号： Vol.1 ページ： 945-948 発行年： 1998年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

温度依存応力がYoung率の温度依存性を補償するために共振器...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0655590&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=A0437C") }}

共振器

, , , ,

前のページに戻る