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J-GLOBAL ID：200902180239434630   整理番号：93A0927970

ZnO膜表面研磨によるSAWフィルタの周波数特性ばらつきの低減

Reduction of Deviation of Frequency Characteristics of SAW Filters by Mechanical Polishing of ZnO Film Surface.

著者 (3件)： 門田道雄 (村田製作所) ,  近藤親史 (村田製作所) ,  中鉢憲賢 (東北大 工)
資料名： 電子情報通信学会論文誌 A  (IEICE Transaction on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences (Japan Edition))
巻： 76  号： 10  ページ： 1399-1406  発行年： 1993年10月 
JST資料番号： S0621A  ISSN： 0913-5707  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ZnO膜を用いたSAWフィルタを製造している過程で,中心周波...

シソーラス用語： 弾性表面波素子 ,...

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分類 (1件)： フィルタ一般  (NC04021I)

引用文献 (9件)：

• 藤島啓. 弾性表面波テレビIFフィルタ(I). 電気学会EMシンポジウム. 1978, 55-62
• 門田道雄. 超音波顕微鏡によるSAWフィルタ用ガラス基板の評価. 電学論C. 1991, 111,9, 412-418
• 門田道雄. 有機高分子材料によるZnO/ガラス構造フィルタの周波数調整. 音響誌. 1992, 48,2, 96-101
• KADOTA, M. The polishing effect of ZnO thin films on SAW filters. Jpn. J. Appl. Phys. 1990, 29,Suppl.29-1, 159-161
• KADOTA, M. Ion polishing of ZnO films by an ECR system. Jpn. J. Appl. Phys. 1992, 31,Suppl.31-1, 221-223

タイトルに関連する用語 (5件)： ZnO ,  表面研磨 ,  SAWフィルタ ,  周波数特性 ,  ばらつき