文献
J-GLOBAL ID：200902180760879584   整理番号：00A0362875

172nmエキシマランプを用いた五酸化タンタルの蒸着と熱処理

Deposition and annealing of tantalum pentoxide films using 172nm excimer lamp.
著者 (3件)：
ZHANG J-Y

ZHANG J-Y について

(Univ. Coll. London, London, GBR)

Univ. Coll. London, London, GBR について

, 
LIM B

LIM B について

(Univ. Coll. London, London, GBR)

Univ. Coll. London, London, GBR について

, 
BOYD I W

BOYD I W について

(Univ. Coll. London, London, GBR)

Univ. Coll. London, London, GBR について


資料名：
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

Applied Surface Science について


巻： 154/155  ページ： 382-386  発行年： 2000年02月 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
エキシマランプ(Xe<sub>2</sub><sup>*<...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*薄膜成長

薄膜成長 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
エリプソメトリー

エリプソメトリー について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0362875&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0707B") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

,  金属-絶縁体-半導体構造 
(BM03085X)

金属-絶縁体-半導体構造 について

物質索引 (1件)：
物質索引
文献のテーマを表す化学物質のキーワードです
ペンタエトキシタンタル(V)

ペンタエトキシタンタル(V) について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
エキシマランプ

エキシマランプ について

, 
五酸化タンタル

五酸化タンタル について

, 
蒸着

蒸着 について

, 
熱処理

熱処理 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM