STINE B E について
Massachusetts Inst. Technol., MA, USA について
BONING D S について
Massachusetts Inst. Technol., MA, USA について
CHUNG J E について
Massachusetts Inst. Technol., MA, USA について
CAMILLETTI L について
Digital Equipment Corp., MA, USA について
KRUPPA F について
Digital Equipment Corp., MA, USA について
EQUI E R について
Digital Equipment Corp., MA, USA について
LSI Logic, CA, USA について
PRASAD S について
LSI Logic, CA, USA について
KAPOOR A について
LSI Logic, CA, USA について
IEEE Transactions on Electron Devices について
誘電体薄膜 について
ULSI について
固体デバイス製造技術一般 について
半導体集積回路 について
酸化膜 について
化学的機械研磨 について
CMP について
メタル について
埋め込み について
パターニング について
物理 について