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J-GLOBAL ID：200902181757657500   整理番号：98A0543083

マイクロ波電力によって維持される平面形プラズマ源の特性

Characteristics of the planar plasma source sustained by microwave power.

著者 (3件)： ODROBINA I (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  K<span style=text-decoration:overline>U ́</span>DELA J (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  KANDO M (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 7  号： 2  ページ： 238-243  発行年： 1998年05月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ波電力によってプラズマが維持され静磁場が無い,新しい...

シソーラス用語： *プラズマ源 ,...

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分類 (1件)： プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロ波電力 ,  プラズマ源