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J-GLOBAL ID:200902181794558090   整理番号:01A0559357

高温で用いる酸素センサ用のGa2O3薄膜

Ga2O3 thin film for oxygen sensor at high temperature.
著者 (4件):
資料名:
巻: 175/176  ページ: 721-725  発行年: 2001年05月15日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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N型半導体で,高温で安定であり,抵抗率が膜中の酸素濃度によっ...
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分類 (2件):
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その他の固体デバイス  ,  酸化物薄膜 
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