単一化学量論組成ターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタリングによるPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>薄膜の作製  構造と電気的性質

THOMAS R; MOCHIZUKI S; MIHARA T; ISHIDA T

文献

J-GLOBAL ID：200902181837638565 整理番号：02A0674206

単一化学量論組成ターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタリングによるPb(Zr,Ti)O₃薄膜の作製構造と電気的性質

Preparation of Pb(Zr,Ti)O₃ thin films by RF-magnetron sputtering with single stoichiometric target: Structural and electrical properties.

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巻： 413 号： 1/2 ページ： 65-75 発行年： 2002年06月24日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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単一化学量論組成ターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタリングによるPb(Zr,Ti)O3薄膜の作製 構造と電気的性質

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