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J-GLOBAL ID：200902181870567754   整理番号：99A0795833

DUVリソグラフィにおける鏡面分光散乱計測

Specular Spectroscopic Scatterometry in DUV Lithography.

著者 (5件)： NIU X (Timbre Technol. Inc., CA) ,  JAKATDAR N (U.C. Berkeley, CA) ,  BAO J (U.C. Berkeley, CA) ,  SPANOS C (U.C. Berkeley, CA) ,  YEDUR S (Advanced Micro Devices, CA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3677  号： Pt.1  ページ： 159-168  発行年： 1999年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： リソグラフィ ,  鏡面 ,  分光 ,  散乱計測