正確な形状の過フッ化炭化水素被膜の使用によるミクロ構造の解放後付着の解消

MAN P F; GOGOI B P; MASTRANGELO C H

文献

J-GLOBAL ID：200902181961232747 整理番号：97A0398711

正確な形状の過フッ化炭化水素被膜の使用によるミクロ構造の解放後付着の解消

Elimination of Post-Release Adhesion in Microstructures Using Conformal Fluorocarbon Coatings.

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巻： 6 号： 1 ページ： 25-34 発行年： 1997年03月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

プラズマ炉中で成長させた過フッ化炭化水素(FC)被膜により,...

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固体デバイス製造技術一般

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