Ar/SiH<sub>4</sub> rf放電におけるダスト形成と帯電

STOFFELS E; STOFFELS W W; KROESEN G M W; DE HOOG F J

文献

J-GLOBAL ID：200902182129565627 整理番号：96A0361789

Ar/SiH₄ rf放電におけるダスト形成と帯電

Dust formation and charging in an Ar/SiH₄ radio-frequency discharge.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=96A0361789&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0361789&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0789B") }}

著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 14 号： 2 ページ： 556-561 発行年： 1996年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

低圧rf Ar/シラン放電におけるサブミクロンのダスト粒子の...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0361789&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0789B") }}

気体放電

, , , ,

前のページに戻る

Ar/SiH4 rf放電におけるダスト形成と帯電

Ar/SiH₄ rf放電におけるダスト形成と帯電