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J-GLOBAL ID：200902182448861980   整理番号：93A0765871

フィルタを通過したカソードアークによるカーボン膜の蒸着

Deposition of carbon films by a filtered cathodic arc.

著者 (3件)： KUEHN M (Technical Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU) ,  MEJA P (Technical Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU) ,  RICHTER F (Technical Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 2  号： 10  ページ： 1350-1354  発行年： 1993年08月16日 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 定常状態で作動するアーク源と,プラズマビーム偏向および巨視的...

シソーラス用語： 炭素材 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (2件)： カーボン膜 ,  蒸着