文献

J-GLOBAL ID：200902182512463110   整理番号：00A0516814

ギガHzウエハ上CMOS分離測定のための4段階法

A Four-Step Method for De-Embedding Gigahertz On-Wafer CMOS Measurements.

著者 (1件)： KOLDING T E (Aalborg Univ., Aalborg, DNK)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 47  号： 4  ページ： 734-740  発行年： 2000年04月 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ギガHz領域において,正確なウエハ上デバイスの測定を導く分離...

シソーラス用語： 超LSI ,...

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分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (3件)： ウエハ ,  CMOS ,  段階