Jet-Printing-System法による圧電厚膜の形成

文献

J-GLOBAL ID：200902182963090717 整理番号：97A0901010

Preparation of Piezoelectric Thick Films by Jet-Printing-System Method.

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資料名：
巻： 117-E 号： 10 ページ： 507-512 発行年： 1997年10月
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

材料の微粉末をエアロゾル化して高圧で真空中の加熱した基板に衝...

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その他の無機化合物の薄膜 , 圧電デバイス

引用文献 (16件)：

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