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J-GLOBAL ID:200902184072775819   整理番号:94A0018282

熱処理した液体封止CzochralskiGaAsでのEL2外部拡散

EL2 Out-Diffusion in Thermally Annealed Liquid-Encapsulated Czochralski GaAs.
著者 (4件):
資料名:
巻: 32  号: 11A  ページ: 5059-5061  発行年: 1993年11月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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LEC成長GaAsの固有欠陥EL2についてその熱処理特性をD...
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分類 (1件):
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半導体の格子欠陥 
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