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J-GLOBAL ID：200902184162166064   整理番号：96A0333191

シランプラズマ化学における断面積,速度定数,輸送係数

Cross-Sections, Rate Constants and Transport Coefficients in Silane Plasma Chemistry.
著者 (3件)：
PERRIN J

PERRIN J について

, 
LEROY O

LEROY O について

(ONERA, Palaiseau, FRA)

ONERA, Palaiseau, FRA について

, 
BORDAGE M C

BORDAGE M C について

(Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA)

Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA について


資料名：
Contributions to Plasma Physics  (Contributions to Plasma Physics)

Contributions to Plasma Physics について


巻： 36  号： 1  ページ： 3-49  発行年： 1996年 
JST資料番号： H0173A  ISSN： 0863-1042  CODEN： BPPHAA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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水素添加のアモルファスシリコン膜(a-Si:H)蒸着のために...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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シラン

シラン について

,...
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分類 (3件)：
分類
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プラズマ一般 
(BJ02010B)

プラズマ一般 について

,  イオンとの衝突・散乱 
(BH04040Q)

イオンとの衝突・散乱 について

,  荷電体衝撃・放電による反応 
(CB06020R)

荷電体衝撃・放電による反応 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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シラン

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, 
プラズマ化学

プラズマ化学 について

, 
断面積

断面積 について

, 
速度定数

速度定数 について

, 
輸送係数

輸送係数 について


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