SKORUPA W について
Research Center Rossendorf Inc., Dresden, DEU について
KOEGLER R について
Research Center Rossendorf Inc., Dresden, DEU について
SCHMALZ K について
Inst. Semiconductor Physics, Frankfurt, DEU について
GAWORZEWSKI P について
Inst. Semiconductor Physics, Frankfurt, DEU について
MORGENSTERN G について
Inst. Semiconductor Physics, Frankfurt, DEU について
SYHRE H について
Inst. Fresenius, Dresden, DEU について
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について
重イオン照射 について
半導体の放射線による構造と物性の変化 について
炭素 について
注入 について
起因 について
Si について
鉄 について
ゲッタリング について
ドーピング について