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J-GLOBAL ID:200902184348107084   整理番号:94A0408342

光酸発生基を含む高分子露光表面でのポリシロキサンの生成 ポリシロキサン形成層の厚さ制御

Polysiloxane Formation at the Polymer Surface Having Photoacid Generating Units. Control of Polysiloxane Formation Depth.
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資料名:
巻: 42  号:ページ: 2764-2766  発行年: 1993年09月 
JST資料番号: Z0703B  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)

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