自動化欠陥制限歩留り解析用のインラインウエハ検査データウェアハウス

文献

J-GLOBAL ID：200902184440495120 整理番号：01A0310145

In-line Wafer Inspection Data Warehouse for Automated Defect Limited Yield Analysis.

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著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 2000 ページ： 124-129 発行年： 2000年
JST資料番号： W0718A ISSN： 1078-8743 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

半導体プロセスのゾーン毎の欠陥に制限される歩留りの解析自動処...

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固体デバイス計測・試験・信頼性

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