X線吸収研究によるSiN薄膜中のNのダングリングボンドの同定

PALOURA E C; KNOP A; HOLLDACK K; DOEBLER U; LOGOTHETIDIS S

文献

J-GLOBAL ID：200902184503108408 整理番号：93A0395798

X線吸収研究によるSiN薄膜中のNのダングリングボンドの同定

On the identification of N dangling bonds in SiN films using x-ray absorption studies.

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資料名：
巻： 73 号： 6 ページ： 2995-3000 発行年： 1993年03月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Si上に形成した非晶質Si<sub>3</sub>N<sub...

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その他の無機化合物の薄膜

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