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J-GLOBAL ID：200902184802054845   整理番号：00A0888941

アンバランスドマグネトロンスパッタリング法により形成したDLC皮膜の特性

DLC Coating Film Properties in Unbalanced Magnetron Sputtering.

著者 (2件)： 赤理孝一郎 (神戸製鋼所) ,  岩村栄治 (神戸製鋼所 材研)
資料名： R&D神戸製鋼技報  (R&D/神戸製鋼技報)
巻： 50  号： 2  ページ： 58-61  発行年： 2000年09月01日 
JST資料番号： F0164A  ISSN： 0373-8868  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： DLC(ダイヤモンドライクカーボン)皮膜の形成方法として,バ...

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,...
準シソーラス用語： DLC【炭素】

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分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (2件)： DLC ,  皮膜