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J-GLOBAL ID：200902184812746052   整理番号：96A1019003

バルクSi結晶からのナノメートル寸法の高周波機械共振器の作製

Fabrication of high frequency nanometer scale mechanical resonators from bulk Si crystals.

著者 (2件)： CLELAND A N (California Inst. Technol., California) ,  ROUKES M L (California Inst. Technol., California)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 69  号： 18  ページ： 2653-2655  発行年： 1996年10月28日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記のために以前に開発された方法より簡単な方法を提案した。こ...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 試料技術  (BA02070O) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： バルク ,  Si結晶 ,  高周波 ,  機械共振器 ,  作製