高周波作動グロー放電デバイスにおけるスパッタ及び発光特性に対する方向性(半径方向)ガスフローの影響

文献

J-GLOBAL ID：200902185466053106 整理番号：93A0552000

Effect of directed(radial) gas flow on sputtering and emission characteristics in radio frequency powered glow discharge devices.

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巻： 48 号： 6/7 ページ： 863-875 発行年： 1993年05月
JST資料番号： B0793A ISSN： 0584-8547 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

高周波グロー放電原子発光装置内の陰極表面にAr支持ガスを半径...

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気体放電 , 分光分析

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