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J-GLOBAL ID：200902186004666931   整理番号：01A0506058

鉄基強磁性酸化物スパッタ薄膜における磁界による誘電率変化

Dielectric Permittivity Changes with Magnetic Field in Iron-based Ferromagnetic Oxide Sputtered Films.

著者 (4件)： 加島篤 (北九州工高専) ,  中村優哉 (北九州工高専) ,  井上光輝 (豊橋技科大) ,  藤井寿崇 (愛知工科大)
資料名： 日本応用磁気学会誌  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
巻： 25  号： 4-2  ページ： 875-878  発行年： 2001年04月15日 
JST資料番号： Z0944A  ISSN： 0285-0192  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高周波反応性スパッタ法で作ったFe₂O...

シソーラス用語： RFスパッタリング ,...
準シソーラス用語： 微分透磁率

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分類 (1件)： 誘電体測定技術・装置  (BM05020Q)

引用文献 (6件)：

• 1) A. Kajima, T. Kaneda, H. Ito, T. Fujii, I. Okamoto, T. Kimura and K. Ohdan : J. Appl. Phys., 69, 3663 (1991).
• 2) A. Kajima, T. Kaneda, H. Ito, T. Fujii and I. Okamoto : J. Appl. Phys., 70, 3760 (1991).
• 3) A. Kajima, K. Ideta, K. Yamashita, T. Fujii, H.Nii and I. Fujii : Proc. Int. Conf. Ferrites ,Tokyo and Kyoto, 452 (1992)
• 4) 西村真作,井上光輝,藤井壽崇:“第3回日本応用磁気学会学術講演会概要集” 8aF-9 (1999)
• 5) 加島 篤,野村正彦,中村優哉,井上光輝,藤井壽崇:電気学会マグネティックス研究会資料,MAG-00-20 (2000)

タイトルに関連する用語 (7件)： 鉄基 ,  強磁性 ,  酸化物 ,  スパッタ ,  薄膜 ,  磁界 ,  誘電率