ZrO2ゲート誘電体上の多結晶質シリコン電極の熱安定性

PERKINS C M; TRIPLETT B B; MCLNTYRE P C; SARASWAT K C; SHERO E

文献

J-GLOBAL ID：200902186251759209 整理番号：02A0698411

ZrO₂ゲート誘電体上の多結晶質シリコン電極の熱安定性

Thermal stability of polycrystalline silicon electrodes on ZrO₂ gate dielectrics.

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資料名：
巻： 81 号： 8 ページ： 1417-1419 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Si/SiO2/ZrO2<...

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酸化物薄膜

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