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J-GLOBAL ID：200902186410095406   整理番号：98A0194773

陰極アーク蒸発装置による単サイクルプラズマ窒化および硬質被覆堆積

Single cycle plasma nitriding and hard coating deposition in a cathodic arc evaporation device.

著者 (7件)： SANCHETTE F (Innovatique, Chassieu, FRA) ,  DAMOND E (Innovatique, Chassieu, FRA) ,  BUVRON M (Innovatique, Chassieu, FRA) ,  HENRY L (Innovatique, Chassieu, FRA) ,  JACQUOT P (Innovatique, Chassieu, FRA) ,  RANDALL N (Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE) ,  ALERS P (Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 94/95  号： 1/3  ページ： 261-267  発行年： 1997年10月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： これまで二つの工程が必要であった処理を,工業用陰極アーク蒸発...

シソーラス用語： 高合金鋼 ,...

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分類 (2件)： その他の表面処理  (WC08070F) ,  金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N)

タイトルに関連する用語 (7件)： 陰極 ,  アーク ,  蒸発装置 ,  サイクル ,  プラズマ窒化 ,  硬質 ,  堆積