文献

J-GLOBAL ID：200902186658351581   整理番号：94A0114351

高純度ガスの検査のフィロソフィーと方法論

Testing philosophy and methodology for UHP gas handling components.

著者 (2件)： WANG H-C (American Air Liquide, IL) ,  LI Y-E (American Air Liquide, IL)
資料名： Particles in Gases and Liquids 3  (Particles in Gases and Liquids 3)
ページ： 105-117  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19940047  ISBN： 0-306-44485-2  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高純度ガスの分配システムの機器の挙動の研究に伝達関数の考えを...

シソーラス用語： 哲学 ,...

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分類 (2件)： 化学分析一般  (CC07010Q) ,  計測学一般  (AD01000Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高純度 ,  検査 ,  フィロソフィー ,  方法論